Verfahren zur Vorbereitung von Proben für Bildgebung

EP2939260 Art A2 4. November 2015

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2939260
Aktenzeichen
EP13867351
Anmeldetag
30. Dezember 2013
Veröffentlichung
4. November 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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