Aufbringen von Material in Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis
EP2939261
Art B1
24. August 2016
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2939261
- Aktenzeichen
- EP13868669
- Anmeldetag
- 30. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 24. August 2016
- Erteilung
- 24. August 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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