Mikroelektronisches Verfahren zum Ätzen einer Schicht

EP2939262 Art B1 9. Januar 2019

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.), Université Joseph Fourier, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2939262
Aktenzeichen
EP13815511
Anmeldetag
20. Dezember 2013
Veröffentlichung
9. Januar 2019
Erteilung
9. Januar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/311H01L21/3213
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.)
Université Joseph Fourier
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Hautier IP wurde 1892 gegründet und zählt zu den traditionsreichsten französischen Kanzleien für gewerblichen Rechtsschutz, mit Büros in Grenoble, Nizza, Paris, Marseille und Monaco. Mit strategisch-wirtschaftlichem Ansatz begleitet sie Mandanten bis zum Einheitspatent und gewährt über ihr Programm „Green“ Nachlässe für umweltorientierte Unternehmen.

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