Verfahren zur Herstellung einer Mikroskopischen Struktur mittels eines Fokussierten Ionenstrahls

EP2943769 Art B1 22. November 2017

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2943769
Aktenzeichen
EP14737997
Anmeldetag
10. Januar 2014
Veröffentlichung
22. November 2017
Erteilung
22. November 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/305H01J37/317G01N1/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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