Euv-Spiegel und Optisches System mit Euv-Spiegel

EP2943961 Art B1 5. Februar 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2943961
Aktenzeichen: EP13799616
Anmeldetag: 6. Dezember 2013
Veröffentlichung: 5. Februar 2020
Erteilung: 5. Februar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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