Organoaminodisilan-Vorläufer und Verfahren zur Ablagerung von Schichten damit

EP2944608 Art B1 22. April 2020

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2944608
Aktenzeichen: EP15164099
Anmeldetag: 3. Juni 2013
Veröffentlichung: 22. April 2020
Erteilung: 22. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C01B33/04C07F7/10C23C16/00C07F7/02C07F7/21

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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