Vertikale Nanodraht-Halbleiterstrukturen mit niedriger Defektdichte, sowie Herstellungsverfahren dafür

EP2947045 Art B1 28. August 2019

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2947045
Aktenzeichen: EP14168913
Anmeldetag: 19. Mai 2014
Veröffentlichung: 28. August 2019
Erteilung: 28. August 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/775H01L29/04H01L29/06H01L21/336B82Y10/00B82Y40/00H01L29/41

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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