Konforme Beschichtung auf dreidimensionalen Substraten

EP2947178 Art A1 25. November 2015

Anmelder: IMEC VZW, Universiteit Hasselt 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2947178
Aktenzeichen: EP14169181
Anmeldetag: 21. Mai 2014
Veröffentlichung: 25. November 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C18/12H01M4/04H01M4/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Universiteit Hasselt
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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