193NM-Laser und Inspektionssystem
EP2949015
Art B1
1. August 2018
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2949015
- Aktenzeichen
- EP14742754
- Anmeldetag
- 24. Januar 2014
- Veröffentlichung
- 1. August 2018
- Erteilung
- 1. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/00G01N21/95G01N21/956G02F1/35G02F1/39
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin