Funktionelle Beschichtung, Flüssigkeitseintauchelement, Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitseintauchelements, Belichtungsvorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP2949777 Art B1 15. Mai 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2949777
Aktenzeichen: EP14743327
Anmeldetag: 22. Januar 2014
Veröffentlichung: 15. Mai 2019
Erteilung: 15. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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