Plasmavorrichtung, Kohlenstoffdünnschichtherstellungsverfahren und Beschichtungsverfahren unter Verwendung der Plasmavorrichtung

EP2949779 Art A1 2. Dezember 2015

Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2949779
Aktenzeichen: EP14743534
Anmeldetag: 21. Januar 2014
Veröffentlichung: 2. Dezember 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/32C23C14/06H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissin Electric Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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