Verfahren zur Massenspektrometrischen Prüfung von Gasgemischen und Massenspektrometer dafür

EP2951851 Art B1 23. Oktober 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2951851
Aktenzeichen: EP14701405
Anmeldetag: 27. Januar 2014
Veröffentlichung: 23. Oktober 2019
Erteilung: 23. Oktober 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/10H01J49/14H01J49/00H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

564 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von