Oberflächenentschichtung mit programmiertem Manipulator
EP2952872
Art A1
9. Dezember 2015
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2952872
- Aktenzeichen
- EP14170775
- Anmeldetag
- 2. Juni 2014
- Veröffentlichung
- 9. Dezember 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N1/06H01L21/304B28D5/04B26D3/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte