Verfahren und Vorrichtung zur Verwendung mit Extremem Uv-Licht mit Kontaminationsschutz

EP2956714 Art B1 2. August 2023

Anmelder: Kla-Tencor Corporation, Sandia Corporation 🇺🇸

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland

492

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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