Amplitudenkontrastbildgebung mit Hoher Auflösung

EP2956761 Art A1 23. Dezember 2015

Anmelder: Universiteit Antwerpen, FEI Company 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2956761
Aktenzeichen: EP14711164
Anmeldetag: 14. Februar 2014
Veröffentlichung: 23. Dezember 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/04H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Universiteit Antwerpen
FEI Company
Land: 🇧🇪 Belgien

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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