Verfahren zur Ablagerung von Filmen durch Alkyl-Alkoxysilacyclische Verbindungen

EP2958135 Art B1 28. März 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2958135
Aktenzeichen: EP15172307
Anmeldetag: 16. Juni 2015
Veröffentlichung: 28. März 2018
Erteilung: 28. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C23C16/30C23C16/56C07F7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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