Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von Objekten in einer Kammer eines Optischen Instruments durch Erzeugung Reaktiver Ionen mittels Photonenstrahlung
EP2959263
Art B1
7. Dezember 2022
Anmelder: Kla-Tencor Corporation, Sandia Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2959263
- Aktenzeichen
- EP14754678
- Anmeldetag
- 24. Februar 2014
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2022
- Erteilung
- 7. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/00H01L21/027G03F7/20B08B7/00// G03F1/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kla-Tencor Corporation
Sandia Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin