Verfahren zur Herstellung eines Musters in einer Probe

EP2959497 Art B1 30. November 2016

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2959497
Aktenzeichen: EP14713165
Anmeldetag: 21. Februar 2014
Veröffentlichung: 30. November 2016
Erteilung: 30. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317B82B3/00B82Y40/00G01N33/487B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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