Systeme zur Bereitstellung von Beleuchtung in der Optischen Messtechnik

EP2959503 Art B1 30. Mai 2018

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2959503
Aktenzeichen: EP14753960
Anmeldetag: 21. Februar 2014
Veröffentlichung: 30. Mai 2018
Erteilung: 30. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01J3/10G01J3/12H01J65/04G01J3/02G02B6/35F21V13/00F21V13/08F21V13/12G02B6/293

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland

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Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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