Verfahren und System zur Gasdurchflussreduzierung in Molekularen Verunreinigungen von Optischen Elementen
EP2959504
Art B1
4. Juli 2018
Anmelder: Kla-Tencor Corporation, Sandia Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2959504
- Aktenzeichen
- EP14754941
- Anmeldetag
- 25. Februar 2014
- Veröffentlichung
- 4. Juli 2018
- Erteilung
- 4. Juli 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kla-Tencor Corporation
Sandia Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin