Siegbahnstufe
EP2960519
Art B1
6. November 2019
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2960519
- Aktenzeichen
- EP15174030
- Anmeldetag
- 26. Juni 2015
- Veröffentlichung
- 6. November 2019
- Erteilung
- 6. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D17/16F04D19/04F04D23/00
Abstract
Eine Siegbahnstufe einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe oder einer Seitenkanalpumpe, umfasst ein Statororgan und ein Rotororgan, die jeweils eine von zwei einander gegenüberliegenden pumpaktiven Flächen aufweisen, wobei zumindest die pumpaktive Flächen des Statororgans eine strukturierte Oberfläche umfasst. Dabei sind die einander gegenüberliegenden pumpaktiven Flächen des Statororgans und des Rotororgans nicht planar.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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