Verfahren und System zur Erzeugung von Symmetrischer Fib-Abscheidung

EP2960924 Art A1 30. Dezember 2015

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2960924
Aktenzeichen
EP15173248
Anmeldetag
23. Juni 2015
Veröffentlichung
30. Dezember 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/305H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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