Verfahren zur Formung einer Resiststruktur

EP2960926 Art B1 29. Mai 2019

Anmelder: Osaka University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2960926
Aktenzeichen: EP14753626
Anmeldetag: 20. Februar 2014
Veröffentlichung: 29. Mai 2019
Erteilung: 29. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F7/38H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Osaka University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Osaka University

Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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