Kleinproduktionsvorrichtung und Produktionssystem damit

EP2960932 Art B1 30. August 2017

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2960932
Aktenzeichen: EP14753798
Anmeldetag: 17. Februar 2014
Veröffentlichung: 30. August 2017
Erteilung: 30. August 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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