Reflektierende Beschichtung mit Optimierter Dicke

EP2962158 Art B1 4. Januar 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2962158
Aktenzeichen: EP14706630
Anmeldetag: 26. Februar 2014
Veröffentlichung: 4. Januar 2023
Erteilung: 4. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G21K1/06G02B5/09G02B5/08G02B17/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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