Vorrichtung zur Bereitstellung einer Lokalen Sauberen Mikroumgebung in der Nähe von Optischen Oberflächen eines Optischen Extrem-Uv-Systems

EP2969272 Art B1 21. Juni 2023

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von

Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland

492

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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