Facettenspiegelvorrichtung zur Bildgebung und Verfahren zur Verwendung davon
EP2972226
Art B1
18. Dezember 2019
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2972226
- Aktenzeichen
- EP14764065
- Anmeldetag
- 14. März 2014
- Veröffentlichung
- 18. Dezember 2019
- Erteilung
- 18. Dezember 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/55G01N21/33G01N21/88G03F1/84G02B5/09G02B5/08G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
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Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin