Hochspannungsbuchse für Kryogenik Anwendungen

EP2973617 Art B1 1. Mai 2019

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2973617
Aktenzeichen
EP14772977
Anmeldetag
12. März 2014
Veröffentlichung
1. Mai 2019
Erteilung
1. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01B17/56H01B12/00H01L39/16H01B17/58H02G15/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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