Fotovervielfacherröhre, Bildsensor und Inspektionssystem mit Pmt oder Bildsensor
EP2973713
Art B1
29. November 2017
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2973713
- Aktenzeichen
- EP14779717
- Anmeldetag
- 1. April 2014
- Veröffentlichung
- 29. November 2017
- Erteilung
- 29. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L31/0216H01J40/06H01J43/08H01L31/103
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin