Supraleitender Fehlerstrombegrenzer

EP2973920 Art B1 26. Februar 2020

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2973920
Aktenzeichen
EP14769092
Anmeldetag
10. März 2014
Veröffentlichung
26. Februar 2020
Erteilung
26. Februar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H02H9/02H01L39/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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