Ladungsträgerstrahlvorrichtung mit Probenplattform, Beobachtungssystem und Lichtemittierendes Element

EP2975631 Art B1 10. November 2021

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation, Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2975631
Aktenzeichen: EP14762260
Anmeldetag: 22. Januar 2014
Veröffentlichung: 10. November 2021
Erteilung: 10. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H01J37/20H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Tech Corporation
Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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