Passivierung von Nichtlinearen Optischen Kristallen

EP2984205 Art B1 9. Dezember 2020

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2984205
Aktenzeichen
EP14782555
Anmeldetag
10. April 2014
Veröffentlichung
9. Dezember 2020
Erteilung
9. Dezember 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C30B7/00C30B9/00G01N21/956G01N21/95C30B29/10C30B29/22C30B33/02// G01N21/87G01N21/84
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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