Verfahren zur Selektiven Oxidentfernung
EP2988322
Art B1
24. Juni 2020
Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2988322
- Aktenzeichen
- EP15176815
- Anmeldetag
- 15. Juli 2015
- Veröffentlichung
- 24. Juni 2020
- Erteilung
- 24. Juni 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC VZW
- Land
- 🇧🇪 Belgien
Fachgebiete
Vertreten von
Clerix, André
Leuven, Belgien
89
Patente gesamt
13
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Patent Department IMEC
Patent Department IMEC · Leuven