Verfahren zur Selektiven Oxidentfernung
EP2988322
Art B1
24. Juni 2020
Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2988322
- Aktenzeichen
- EP15176815
- Anmeldetag
- 15. Juli 2015
- Veröffentlichung
- 24. Juni 2020
- Erteilung
- 24. Juni 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC VZW
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Fachgebiete
Vertreten von
Clerix, André
Leuven, Belgien
89
Patente gesamt
13
Fachgebiete
2
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Schwerpunkte
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Patent Department IMEC
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