Waferbehälter mit Verriegelungsmechanismus für Wafer mit Grossem Durchmesser
EP2989657
Art B1
23. Mai 2018
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2989657
- Aktenzeichen
- EP14787423
- Anmeldetag
- 25. April 2014
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2018
- Erteilung
- 23. Mai 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673B65D85/38H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bumke, Jakob Wenzel
Cheddar, Großbritannien
271
Patente gesamt
29
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar
-
Patentanwälte Geyer, Fehners & Partner mbB
Patentanwälte Geyer, Fehners & Partner mbB · München