Verbesserter Strahlungssensor und dessen Anwendung in einem Ladungsteilchenmikroskop
EP2991114
Art A1
2. März 2016
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2991114
- Aktenzeichen
- EP15181994
- Anmeldetag
- 21. August 2015
- Veröffentlichung
- 2. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L27/146H01J37/244H01L31/105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
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28
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4
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