Verfahren zur Herstellung einer Porenversiegelungsschicht auf Porösen Filmen mit Geringer Dielektrizitätskonstante

EP2993687 Art B1 5. Februar 2020

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2993687
Aktenzeichen: EP15181146
Anmeldetag: 14. August 2015
Veröffentlichung: 5. Februar 2020
Erteilung: 5. Februar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/768C23C16/40C23C16/455H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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