Zusammensetzungen und Verfahren zur Entfernung von Ceroxidteilchen von einer Oberfläche
EP2997122
Art A1
23. März 2016
Anmelder: Entegris, Inc., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2997122
- Aktenzeichen
- EP14797546
- Anmeldetag
- 15. Mai 2014
- Veröffentlichung
- 23. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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