Verfahren und System zur Adaptiven Abtastung einer Probe Während der Elektronenstrahlprüfung

EP3001865 Art B1 21. August 2024

Anmelder: KLA-Tencor Corporation, KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3001865
Aktenzeichen
EP14788525
Anmeldetag
25. April 2014
Veröffentlichung
21. August 2024
Erteilung
21. August 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/147H01J37/28H01J37/26H01J37/02H01J37/04H01J37/256G01N23/2251
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
KLA-Tencor Corporation
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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