Cw-Duv-Laser mit Verbesserter Stabilität

EP3008779 Art B1 18. Dezember 2019

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3008779
Aktenzeichen
EP14811528
Anmeldetag
11. Juni 2014
Veröffentlichung
18. Dezember 2019
Erteilung
18. Dezember 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/35G02F1/355H01S3/109
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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