Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Trisilylamin

EP3009396 Art B8 27. September 2017

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3009396
Aktenzeichen: EP15193282
Anmeldetag: 23. Juni 2014
Veröffentlichung: 27. September 2017
Erteilung: 27. September 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C01B21/068

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

Vertreten von