Abtastungskohärentes Diffraktives Bildgebungsverfahren und System zur Aktinischen Maskeninspektion für die Euv-Lithografie
EP3011389
Art A1
27. April 2016
Anmelder: Paul Scherrer Institut 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3011389
- Aktenzeichen
- EP14729248
- Anmeldetag
- 26. Mai 2014
- Veröffentlichung
- 27. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F1/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Paul Scherrer Institut
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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