Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Nanostrukturen und Substratstruktur mit Nanostrukturen
EP3012344
Art A1
27. April 2016
Anmelder: Kyoto University, Hitachi, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3012344
- Aktenzeichen
- EP15002952
- Anmeldetag
- 16. Oktober 2015
- Veröffentlichung
- 27. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/02C23C14/14C23C14/30C23C14/50C23C14/54C23C14/22B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kyoto University
Hitachi, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kyoto University
Renommierte japanische Universität mit breiter Grundlagenforschung in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.
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🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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