Oberflächenkorrektur von Spiegeln mit Entkopplungsbeschichtung

EP3014316 Art B1 13. November 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3014316
Aktenzeichen: EP14729020
Anmeldetag: 11. Juni 2014
Veröffentlichung: 13. November 2019
Erteilung: 13. November 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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