Zielalterungskompensationsverfahren zur Durchführung von Stabilen Reaktiven Sputterprozessen
Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon, Oerlikon Surface Solutions AG, Trübbach 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3017077
- Aktenzeichen
- EP14735854
- Anmeldetag
- 30. Juni 2014
- Veröffentlichung
- 27. November 2019
- Erteilung
- 27. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/00C23C14/06C23C14/34C23C14/54H01J37/32H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Oerlikon Surface Solutions AG, Trübbach - Land
- 🇨🇭 Schweiz
Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.
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Patentanwalt & Rechtsanwalt Martin Misselhorn positioniert sich bundesweit mit Schwerpunkten in Ingolstadt, Augsburg, Regensburg und Nürnberg. Als Patent-, Rechts- und Fachanwalt in einer Person bietet er Rundumberatung aus einer Hand, mit schneller Reaktion bei Abmahnungen und Videoberatung.