Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats

EP3018696 Art B8 23. Februar 2022

Anmelder: SICOXS CORPORATION, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Sicoxs Corporation, KABUSHIKI KAISHA TOYOTA JIDOSHOKKI 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3018696
Aktenzeichen
EP14820214
Anmeldetag
3. Juli 2014
Veröffentlichung
23. Februar 2022
Erteilung
23. Februar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/18H01L21/20H01L21/762H01L29/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SICOXS CORPORATION
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Sicoxs Corporation
KABUSHIKI KAISHA TOYOTA JIDOSHOKKI
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toyota Industries Corporation

Japanisches Industrieunternehmen, Ursprungsgesellschaft des Toyota-Konzerns, fertigt Textilmaschinen, Gabelstapler, Fahrzeugmotoren und Automobilkomponenten.

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