Optische Hohlwellenleiter-Baugruppe

EP3019789 Art B1 22. Januar 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3019789
Aktenzeichen: EP14732567
Anmeldetag: 25. Juni 2014
Veröffentlichung: 22. Januar 2020
Erteilung: 22. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06G02B27/00F21V8/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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