Partikelsuspensionen als Kontrastarme Standards zur Untersuchung von Flüssigkeiten
EP3019850
Art B1
20. Mai 2020
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3019850
- Aktenzeichen
- EP14823657
- Anmeldetag
- 10. Juli 2014
- Veröffentlichung
- 20. Mai 2020
- Erteilung
- 20. Mai 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N15/14G01N21/00G01N21/01G01N21/17G01T7/00G01N33/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
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FRKelly
FRKelly · Dublin