Massenspektrometer, dessen Verwendung, sowie Verfahren zur Massenspektrometrischen Untersuchung eines Gasgemisches

EP3020063 Art A1 18. Mai 2016

Anmelder: Leybold GmbH, Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3020063
Aktenzeichen: EP14706019
Anmeldetag: 20. Februar 2014
Veröffentlichung: 18. Mai 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Leybold GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

564 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von