Bildbewertungsverfahren und Vorrichtung mit Geladenem Teilchenstrahl

EP3021280 Art B1 11. Oktober 2017

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3021280
Aktenzeichen: EP15193000
Anmeldetag: 4. November 2015
Veröffentlichung: 11. Oktober 2017
Erteilung: 11. Oktober 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/30H01J37/22G06T7/73G06T7/20G06K9/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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