Ladungsträgerteilchenmikroskop mit Barometrischer Druckkorrektur

EP3021348 Art A1 18. Mai 2016

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3021348
Aktenzeichen
EP15193785
Anmeldetag
10. November 2015
Veröffentlichung
18. Mai 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/02H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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